ネット上にAiによる記事がありましたので載せておきます。
AI による概要
詳細
低温プラズマとは、電子温度のみが高いプラズマで、常温や低圧の環境で発生します。電子、中性子、陽子の温度が平衡している熱平衡プラズマ（熱プラズマ）と異なり、電子だけが過熱された状態です。
低温プラズマは、殺菌・洗浄、表面改質、微細加工、薄膜合成、除害、光源など、さまざまな産業分野で活用されています。
低温プラズマの応用例
半導体製造の微細加工や薄膜合成
殺菌・除菌・消毒
除害
光源
医療現場でのがん細胞の選択死滅
農業分野での植物の成長促進
低温プラズマの生成方法
低温プラズマは、一般的に数百mTorr以下の低気圧気体に外部電界や磁界を印加することで生成されます。
